Anlagen
PVD-Anlage 9-500

Mit 500 Liter Kammervolumen und 9 Arc-Verdampfern deckt die vollautomatische PVD-Anlage 9-500 mehr als 95 % aller möglichen Substratabmessungen ab und ist daher universell einsetzbar. Die große Anzahl der Verdampfer im Verhältnis zum Kammervolumen ermöglicht schnelle Beschichtungszyklen.

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Introbild PVD-Anlage 9-500

PVD-Anlage 9-500

Wie alle GPA-PVD-Anlagen ist sie nach einem Konzept aufgebaut, das Robustheit und lange Lebensdauer garantiert.

  • Doppelwandige oktogonale Beschichtungskammern aus Edelstahl, vollflächig gekühlt, für höchste Maßhaltigkeit und Optik auch nach Jahren
  • Die gesamte Anlage wird platzsparend auf einem kompakten Edelstahlgestell montiert
  • Plug-In-System (zentraler Übergabepunkt für alle Anschlüsse wie Strom, Druckluft, Kühlaggregat, Gase) ermöglicht die Inbetriebnahme innerhalb eines Tages
  • Ent- und Beladen kompletter Chargen mittels Chargierdolly
  • Check Control: automatische Anzeige der Wartungsintervalle
  • Inklusive bewährter Rezepturen für alle Schichtsysteme
  • Eigene Entwicklungen können schnell und einfach abgespeichert werden
  • Fernwartungsmodul wahlweise über Internet oder ISDN
  • Schulung des Bedienpersonals an baugleichen Anlagen vor der Inbetriebnahme möglich
Anlagen PVD-Anlage 9-500

Spezifikationen PVD-Anlage 9-500

Beschichtungskammer
Abm. Ø 800 x 1.000 mm Werkstoff austenitischer Stahl doppelwandig; vollflächig gekühlt bzw. ausheizbar
Drehantrieb
stufenlose Drehzahlregelung Rechts-/Linkslauf Chargengewicht bis 500 kg
Verdampfer
6 Arc-Spot-Verdampfer in 3 Reihen à 2 aktive Kathodenfläche 50 cm2
Verdampfer-Stromversorgungen
9 Stück max. 120 A
Hochspannungsversorgung
0 – 1.000 V 0 – 30 ADC 0 – 75 APuls schnelle Arc-Abschaltung
Substratheizung
2 Heizungen à 13,5 kW
Substrat-Temperaturmessung
Pyrometer 150 – 550 °C
Prozessgas-Steuerung
4 Mass Flow Controller (Argon, Wasserstoff, Stickstoff, Kohlenstoffträgergas)
Vorvakuumpumpstand
Drehschieber/Rootspumpenkombination Saugleistung S 360 m3 / h
Hochvakuumpumpe
Turbomolekularpumpe Saugleistung S = 1.550 L /sec.
Hochvakuumventil
schrittmotor-gesteuerter Regelschieber DN 250
Vakuummessung
Pirani gasart unabhängiges Messgerät
Prozesssteuerung
Vollautomatisch, Industrie PC Parameter, Rampen etc. frei programmierbar
Zubehör (optional)
Kalt-/Warmwasserversorgung Prozessgasversorgung 3fach planetarisch rotierende Substrathalter Wechseltische

Individuelle Beschichtungsservices: Lassen Sie sich von uns beraten!

Wissen Sie bereits, was Sie brauchen? Oder benötigen Sie noch Informationen? Wir entwickeln seit über 30 Jahren PVD-Beschichtungen für unsere Kunden und haben sicher auch für Ihre individuelle Anwendung die passende Beschichtungslösung. Eine schnelle Lieferzeit garantieren wir obendrein! Vertrauen Sie auf unsere Erfahrung!

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