Anlagen
Arc-Verdampfer
Die GPA startete Anfang der 1990er Jahre als Anlagenbauer. Unsere Kompetenz für PVD-Beschichtungen stammt daher aus der Maschinentechnologie. Die von Firmengründer Jürgen Lohmann entwickelte zuverlässige Arc-Verdampfertechnologie ist seither weltweit erfolgreich im Einsatz.
PVD Arc-Verdampfereinheit (kathodische Lichtbogenquelle)
Merkmale
Spezifikationen Arc-Verdampfer
Verdampfertyp
| Arc Spot-Verdampfer
|
Lichtbogentyp | cathodic random arc |
Einsatzbereich
| industrielle Produktion; F&E |
Einbaulage | beliebig |
Befestigung Grundmodul im Flansch | Horizontalspanner für schnelle Entnahme |
Kathodenbefestigung | Schnellwechselsystem mit Spannring |
aktiver Kathodendurchmesser | Ø 80 mm |
aktive Kathodenfläche | ̴ 50 cm2 |
Kathodenmaterialien | alle bekannten Kathodenmaterialien |
Kathodenausnutzung | > 70 % (Reduzierung der Verbrauchskosten) |
Ionisierungsgrad | bis 90% |
Druckbereich | < 7 x 10-2 mbar |
Verdampferstrom | max. 100 A |
Material | komplett 1.4301 bzw. 1.4571 Kathoden-Kontaktfläche aus hochfester Kupferlegierung |
Kühlung | indirekte Wasserkühlung Kathodenfläche |
Kühlwasser Anschluß | Schnellkupplungen beidseitig dichtend |
Kühlwasserbedarf | 10 L / min., 5 bar absolut, 15 – 20 °C |
Triggereinheit | faltenbalg gedichtet |
Triggerzündung | elektropneumatisch |
Lichtbogenfokussierung | Magnetfeld |
Abmessung | Einschweißflansch Ø 165 mm (Verdampfer) plus Einschweiß-flansch KF40 (Trigger) |
Aufbaumöglichkeiten | – Einschweißflansch Ø 165 plus Einschweißflansch KF40 (auch in vorhandene Rezipienten) – komplett auf Flansch CF oder ISO-K ab Ø 250 mm – komplett auf MA VerdampferFlansch – komplett auf individuellem Flansch ab Ø 250 mm |
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