Anlagen
PVD-Anlage 6-350
Die vollautomatische PVD-Beschichtungsanlage 6-350 ist die kleinste Anlage unserer Standard-Baureihe. Sie verfügt über 350 Liter Kammervolumen und 6 Arc-Verdampfer. Die große Anzahl der Verdampfer im Verhältnis zum Kammervolumen ermöglicht schnelle Beschichtungszyklen.
PVD-Anlage 6-350
Wie alle GPA-PVD-Anlagen ist sie nach einem Konzept aufgebaut, das Robustheit und lange Lebensdauer garantiert.
Spezifikationen PVD-Anlage 6-350
Beschichtungskammer | Abm. Ø 700 x 800 mm
Werkstoff austenitischer Stahl
doppelwandig; vollflächig gekühlt bzw. ausheizbar |
Drehantrieb | stufenlose Drehzahlregelung
Rechts-/Linkslauf
Chargengewicht bis 500 kg |
Verdampfer | 6 Arc-Spot-Verdampfer in 3 Reihen à 2
aktive Kathodenfläche 50 cm2 |
Verdampfer-Stromversorgungen | 6 Stück max. 100 A |
Hochspannungsversorgung | 0 – 1.000 V gepulst
0 – 10 ADC 0 – 20 APuls
schnelle Arc-Abschaltung |
Substratheizung | 4 Heizungen à 6 kW |
Substrat-Temperaturmessung | Pyrometer 150 – 550 °C |
Prozessgas-Steuerung | 4 Mass Flow Controller (Ar, H2, N2, Kohlenstoffträgergas) |
Vorvakuumpumpstand | Drehschieber/Rootspumpenkombination
Saugleistung S 340 m3 / h |
Hochvakuumpumpe | Turbomolekularpumpe
Saugleistung S = 1.550 L /sec. |
Hochvakuumventil | schrittmotor-gesteuerter Regelschieber DN 200 |
Vakuummessung | Pirani
gasart unabhängiges Messgerät |
Prozesssteuerung | Vollautomatisch, Industrie PC
Parameter, Rampen etc. frei programmierbar |
Zubehör (optional) | Kalt-/Warmwasserversorgung
Prozessgasversorgung
3fach planetarisch rotierende Substrathalter |
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